[发明专利]阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备有效
| 申请号： | 202011089179.4 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112259433B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 卫晶;陈星;韦刚;华跃平 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备。该阻抗匹配方法包括：在工艺开始时，将阻抗匹配器的可调元件的参数值调节为预设的初始值；当射频电源开启时，按照预先存储的与工艺对应的最优匹配路径，调节可调元件的参数值；最优匹配路径包括预设匹配时段内的不同时刻对应的可调元件的参数值；在到达最优匹配路径的终点时刻之后，采用自动匹配算法调节可调元件的参数值，直至达到阻抗匹配。本发明实施例提供的应用于半导体工艺设备的阻抗匹配方法、阻抗匹配器和半导体工艺设备，可以提高工艺的可重复性和稳定性，从而可以提高工艺结果的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 方法 阻抗 配器 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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