[发明专利]气体输运系统及具有其的MOCVD设备

摘要

本发明提供一种气体输运系统及具有其的MOCVD设备，气体输运系统包括MO源容器、水浴加热槽、载气进气管和气源系统，MO源容器设于水浴加热槽中，其顶端设有进气端和出气端，载气进气管和气源系统相连，气体输运系统还包括设于水浴加热槽内的进气加热管，进气加热管为多段折弯结构，其两端分别与载气进气管以及进气端相连，通过在载气进气管和MO源容器之间设置一位于水浴加热槽内的进气加热管，使得载气再进入MO源容器之前，先对其进行加热，以避免车间环境温度对载气温度的影响，从而使从MO源出气端流出的载气所带出的Mo源量更加稳定精确。并且，多次折弯结构的进气加热管长度更长，使载气能在其内流动更长时间，从而确保载气够精确被加热至所需温度。