[发明专利]直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置在审
| 申请号: | 202011062009.7 | 申请日: | 2020-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN112051288A | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
| 发明(设计)人: | 张伟;邓伟;许佳佳;彭璟;樊申腾;张涛 | 申请(专利权)人: | 深圳市美信检测技术股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N23/203 | 分类号: | G01N23/203;G01N23/20058;G01N23/205;G01N23/02;G01N23/20016;G01N23/20 |
| 代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 王富强 |
| 地址: | 518108 广东省深圳市宝安区石*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明公开直接电子探测相机进行EBSD和TKD测试切换的装置,涉及测试装置技术领域,主要结构包括包括底座、滑动臂、中间臂和前臂;所述滑动臂可滑动的设置于所述底座上,所述中间臂可转动的设置于所述滑动臂与所述前臂之间,直接电子探测器设置于所述前臂的前端。通过调整中间臂和前臂的角度以改变直接电子探测器的角度,通过滑动臂改变直接电子探测器的的水平方向的位置,从而能够实现方便、快捷、自动地在块体材料的EBSD和薄样品的TKD之间切换。使用DED相机,利用其没有光纤或透镜的优点,便于大角度切换其采集方向。 | ||
| 搜索关键词: | 直接 电子 探测 相机 进行 ebsd tkd 测试 切换 装置 | ||
【主权项】:
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