[发明专利]阵列基板和显示面板有效
申请号: | 202011053601.0 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN112164701B | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 何水;杨铭;郑珊珊 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 361101 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请公开了一种阵列基板和显示面板,涉及显示技术领域,阵列基板包括衬底基板和多个薄膜晶体管;薄膜晶体管包括有源层、栅极、源极和漏极,有源层包括沟道区以及分别与沟道区沟道长度方向上的两端连接的第一区和第二区;沿垂直于衬底基板的方向,源极和漏极与有源层之间包括至少一层绝缘层,源极和漏极分别通过贯穿绝缘层的过孔与第一区和第二区连接;其中,过孔在与其相邻的沟道区的宽度方向上的尺寸大于沟道区的沟道宽度尺寸。由于本申请将过孔在沟道宽度方向上进行拉伸,避免了过孔曝光后因孔径扩大而出现弧形边界,从而解决沟道区沟道长度波动的问题;另外,过孔与有源层的接触面积增大后,接触电阻减小,也有利于解决电流发热的问题。 | ||
搜索关键词: | 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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