[发明专利]阵列基板和显示面板有效

专利信息
申请号: 202011053601.0 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN112164701B 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 何水;杨铭;郑珊珊 申请(专利权)人: 厦门天马微电子有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼
地址: 361101 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 阵列 显示 面板
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,其特征在于,包括衬底基板和位于所述衬底基板一侧的多个薄膜晶体管;所述薄膜晶体管包括有源层、栅极、源极和漏极,所述有源层包括沟道区以及分别与所述沟道区沟道长度方向上的两端连接的第一区和第二区;

沿垂直于所述衬底基板的方向,所述源极和漏极与所述有源层之间包括至少一层绝缘层,所述源极和所述漏极分别通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述第一区和所述第二区连接;其中,所述过孔在与其相邻的所述沟道区的宽度方向上的尺寸大于所述沟道区的沟道宽度尺寸;

沿垂直于所述衬底基板的方向,所述过孔包括相对设置的第一端面和第二端面,所述第二端面位于所述第一端面远离所述衬底基板的一侧,所述过孔在与其相邻的所述沟道区的宽度方向上的尺寸为所述第一端面在与其相邻的所述沟道区的宽度方向上的尺寸;

所述第一区沿所述沟道区的长度方向的投影与所述第二区沿所述沟道区的长度方向的投影重合,两个所述过孔在所述沟道区的宽度方向上错位。

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,沿垂直于所述衬底基板的方向,所述过孔在所述有源层的正投影为矩形或圆角矩形。

3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述过孔在与其相邻的所述沟道区宽度方向上的尺寸大于等于所述过孔在与其相邻的所述沟道区长度方向上的尺寸的2倍。

4.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述过孔沿与其相邻的所述沟道区的长度方向的投影覆盖与其相邻的所述沟道区的端部,所述端部为所述沟道区长度方向的端部。

5.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述第一区和所述第二区沿第一方向排布且分别沿第二方向延伸,所述沟道区沿所述第一方向延伸且位于所述第一区及所述第二区之间,所述第一区和所述第二区沿所述第二方向的尺寸大于所述沟道区沿所述第二方向的尺寸;

其中,所述第一方向为所述沟道区的沟道长度方向,所述第二方向为所述沟道区的沟道宽度方向。

6.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述第二区沿所述第二方向的尺寸与所述第一区沿所述第二方向的尺寸相等。

7.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,沿垂直于所述衬底基板的方向,所述过孔在所述有源层的正投影的面积为A1,所述第一区和所述第二区的面积为A2,其中,

8.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述沟道区的沟道宽度尺寸为w,所述沟道区的沟道长度尺寸为l,其中,w/l≥1/2。

9.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1至8之任一所述的阵列基板。

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