[发明专利]一种基于CVD的复合导电薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202011036685.7 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN112201410A 公开(公告)日: 2021-01-08
发明(设计)人: 谭化兵;潘智军;李磊 申请(专利权)人: 安徽宇航派蒙健康科技股份有限公司
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H01B5/14
代理公司: 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 代理人: 康颖
地址: 230000 安徽省合肥市蜀山区源*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种基于CVD的复合导电薄膜制备方法,包括:步骤S100、准备一定厚度的薄膜作为基材,在基材表面涂布银纳米线墨水,制备银纳米线膜层;步骤S200、对银纳米线膜层进行烘烤,获得银纳米线透明导电薄膜;步骤S300、对银纳米线透明导电薄膜进行焊接,形成具有局部熔接节点的银纳米线导电网络;步骤S400、采用CVD方法在银纳米线导电网络表面沉积制备氧化物导电层;步骤S500、在氧化物导电层表面设置高分子保护层,烘烤处理,获得复合导电薄膜。本发明提出了基于化学气相沉积(CVD)法制备透明导电阻隔材料,使其包覆于银纳米线表面,从而可以有效阻隔水汽、氧气进入银纳米线表面,减少器件工作中银纳米线材料在电场作用下的氧化失效问题。
搜索关键词: 一种 基于 cvd 复合 导电 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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