[发明专利]记忆体元件及其制造方法

摘要

一种记忆体元件及其制造方法，记忆体元件包含擦除栅极、擦除栅极介电质、第一和第二浮栅极、第一和第二控制栅极、第一选择栅极、第二选择栅极、共用源极条，以及硅化物垫。擦除栅极位于基板的第一部分上方。第一选择栅极沿着第一方向至少部分通过第一控制栅极与擦除栅极隔开。第二选择栅极沿着第一方向至少部分通过第二控制栅极与擦除栅极隔开。共用源极条位于基板的第二部分上，其中共用源极条与擦除栅极沿着垂直第一方向的第二方向上排列。硅化物垫位于共用源极条下方且位于基板的第二部分内，其中硅化物垫的上表面平坦于擦除栅极介电质的下表面。