[发明专利]会聚离子束装置在审
| 申请号： | 202011022919.2 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112563100A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 石井晴幸;上本敦;麻畑达也 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/20;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 崔成哲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在试样上指定了照射会聚离子束的多个照射位置时，其取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据平面坐标，针对各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度以使所述共心高度与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是电子束和会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对各照射位置，根据移动量使试样载台移动到共心高度。 | ||
| 搜索关键词： | 会聚 离子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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