[发明专利]提高半导体测试机同步触发实时性的装置和方法在审

专利信息
申请号: 202011021916.7 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN112255533A 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 凌云;邬刚 申请(专利权)人: 杭州加速科技有限公司
主分类号: G01R31/317 分类号: G01R31/317
代理公司: 北京市君合律师事务所 11517 代理人: 王再芊;毕长生
地址: 311121 浙江省杭州市余杭区*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种提高半导体测试机同步触发实时性的装置和方法。根据本发明的技术方案,提高半导体测试机同步触发实时性的装置包括通过接口总线连接的主控计算机和至少两个测试资源板卡。任意两个测试资源板卡之间均建立有同步触发通道。每个同步触发通道具有输入/输出两个独立端口。输入端口用于接收同步触发信号,输出端口用于发送同步触发信号。本发明能够满足半导体芯片/晶圆测试时同步触发的实时性和精度要求,提升半导体芯片/晶圆测试设备的性能和价值。
搜索关键词: 提高 半导体 测试 同步 触发 实时 装置 方法
【主权项】:
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