[发明专利]超陡亚阈值摆幅器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202010975409.0 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112349775B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 程为军;梁仁荣;许军;蒋春生 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/51;H01L29/739;H01L21/28;H01L21/331 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 尹璐 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了超陡亚阈值摆幅器件及其制备方法。该超陡亚阈值摆幅器件包括：衬底，包括阱区、源区、漏区和口袋区，其中，源区和漏区分别设置在阱区的一侧，口袋区设置在源区远离阱区并靠近漏区的一侧；绝缘介质层，覆盖源区和漏区；界面氧化层，覆盖口袋区和阱区；栅堆叠结构，覆盖界面氧化层且包括至少一层铁电介质薄膜；栅极，设置在栅堆叠结构界面氧化层的表面。本发明所提出的超陡亚阈值摆幅器，具有关态电流小、开态电流大、驱动电压低、亚阈值摆幅在较宽的驱动电流范围内基本保持不变等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 超陡亚 阈值 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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