[发明专利]图像传感器、半导体器件以及其形成方法在审

专利信息
申请号: 202010930430.9 申请日: 2020-09-07
公开(公告)号: CN113113432A 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 曾志裕;陈明贤 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 王素琴
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开一种具有全局快门的互补金属氧化物半导体图像传感器和一种用于制造互补金属氧化物半导体图像传感器的方法。在一个实施例中,一种半导体器件包含:光感测区;电荷存储区;光屏蔽结构;以及至少一个通孔触点;其中电荷存储区在空间上配置成在横向方向上邻近于光感测区,其中光屏蔽结构配置成在竖直方向上处于电荷存储区上方以便防止入射光从光感测区泄漏到信号处理区,其中光屏蔽结构配置在层间介电(ILD)层中,且其中光屏蔽结构与至少一个通孔触点同步地形成。
搜索关键词: 图像传感器 半导体器件 及其 形成 方法
【主权项】:
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