[发明专利]一种分子束外延用砷棒的制作方法在审
| 申请号： | 202010915130.3 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112030224A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 卢鹏荐;曾小龙;范晨光;黄顼;夏文俊 | 申请（专利权）人： | 武汉拓材科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/02 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 436032 湖北省鄂州*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分子束外延用砷棒的制作方法，具体包括如下步骤,步骤1：相关设备的基本处理,步骤2：石英管的基本操作,步骤3：砷颗粒的初次加工,步骤4：砷颗粒的高阶加工,步骤5：砷颗粒的二次熔化,步骤6：砷颗粒的基本成型，本发明涉及砷棒技术领域。该分子束外延用砷棒的制作方法，使得砷颗粒能够通过高阶加工初步熔化，然后再通过二次熔化，使得砷颗粒在高温高压炉内彻底熔化，以便后续能够顺利成型，避免了砷颗粒因为熔化不完全导致的成型效果不佳，间接的提高了后期产品的合格率和产品质量，原料砷颗粒能够直接进入氦气保环境，有效的避免了砷颗粒的氧化，避免了砷棒制作过程中生成杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 用砷棒 制作方法 | ||
【主权项】：
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