[发明专利]用于半导体晶片的金属化方法在审
申请号: | 202010883746.7 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN112447885A | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | W·克斯特勒;B·哈格多恩 | 申请(专利权)人: | 阿聚尔斯佩西太阳能有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0687;H01L31/0725 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国海*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种用于半导体晶片的金属化方法,至少包括以下步骤:提供半导体晶片,该半导体晶片具有上侧、下侧并且包括多个太阳能电池堆,其中,每个太阳能电池堆具有以所提到的顺序布置的构造所述半导体晶片的所述下侧的Ge‑衬底、Ge‑子电池和至少两个III‑V‑子电池,以及具有至少一个从半导体晶片的所述上侧达到所述下侧的贯通开口,该贯通开口具有连续的侧壁和在横截面中呈卵形的周边,借助于印刷方法将光刻胶层作为胶图案区域式地施加在所述半导体晶片的所述上侧或所述下侧上或者施加在所述上侧和所述下侧上,将金属层面式地施加到所述半导体晶片的涂覆有所述光刻胶层的表面的露出区域上以及施加到所述光刻胶层上,将所述胶图案与所述金属层的位于所述胶图案上的部分从所述半导体晶片剥离。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体 晶片 金属化 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿聚尔斯佩西太阳能有限责任公司,未经阿聚尔斯佩西太阳能有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010883746.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:FINFET器件和方法
- 下一篇:开关箱
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的