[发明专利]标记坐标确定方法、装置、计算机可读介质及电子设备在审
| 申请号： | 202010872112.1 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN114117988A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 李静 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种标记坐标确定方法、标记坐标确定装置、计算机可读介质及电子设备；涉及半导体制造技术领域。该标记坐标确定方法包括：生成用于放置检测标记的标记单元；将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。本公开中的标记坐标确定方法能够在一定程度上克服人工抓取坐标时容易出错的问题，进而提升坐标确定的精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 坐标 确定 方法 装置 计算机 可读 介质 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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