[发明专利]标记坐标确定方法、装置、计算机可读介质及电子设备在审

专利信息
申请号: 202010872112.1 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN114117988A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 李静 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: G06F30/392 分类号: G06F30/392
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 王辉;阚梓瑄
地址: 230601 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 标记 坐标 确定 方法 装置 计算机 可读 介质 电子设备
【权利要求书】:

1.一种标记坐标确定方法,其特征在于,包括:

生成用于放置检测标记的标记单元;

将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中,获得所述图像的标记位置文件,其中,所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标;

根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述生成用于放置检测标记的标记单元包括:

基于所述检测标记的中心位置生成所述标记单元,以使所述标记单元的中心位置与所述检测标记的中心位置相重合。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述检测标记为多个,每个所述检测标记对应一个所述标记单元。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,生成用于放置检测标记的标记单元之后,还包括:

确定所述标记单元的名称,以通过所述标记单元的名称生成所述标记位置文件。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,获得所述图像的标记位置文件包括:

通过制图工具输出所述光掩模版的图像中所述标记单元的位置坐标;

通过所述标记单元的名称构建所述标记单元与所述位置坐标的映射关系,以生成标记位置文件。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标包括:

获取包含待处理标记的标记名称的坐标表文件,其中,所述标记名称为待处理标记对应的标记单元的名称;

通过识别所述坐标表文件中的标记名称以及所述标记位置文件中的标记单元的名称,确定所述标记名称对应的目标坐标;

将所述标记名称对应的目标坐标填充至所述坐标表文件中,以获得所述待处理标记在所述图像中的坐标。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标包括:

通过表格处理工具从所述标记位置文件中抓取出所述待处理标记对应的坐标。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中包括:

将所述检测标记以及所述标记单元设置于所述光掩模版的图像中的目标区域,其中所述目标区域至少包括光掩模版的切割道区域。

9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:检查所述标记单元的位置坐标是否是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,若所述标记单元的位置坐标不是所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标,则将所述标记单元的位置坐标转换为所述图像的左下角为原点的直角坐标系中的坐标。

11.一种标记坐标确定装置,其特征在于,包括:

标记生成模块,用于生成放置检测标记的标记单元;

标记位置确定模块,用于将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中,获得所述图像的标记位置文件,其中,所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标;

标记坐标获取模块,根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。

12.一种计算机可读介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-10任一项所述的方法。

13.一种电子设备,其特征在于,包括:

处理器;以及

存储器,用于存储所述处理器的可执行指令;

其中,所述处理器配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求1-10任一项所述的方法。

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