[发明专利]标记坐标确定方法、装置、计算机可读介质及电子设备

说明书

本公开提供一种标记坐标确定方法、标记坐标确定装置、计算机可读介质及电子设备；涉及半导体制造技术领域。该标记坐标确定方法包括：生成用于放置检测标记的标记单元；将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。本公开中的标记坐标确定方法能够在一定程度上克服人工抓取坐标时容易出错的问题，进而提升坐标确定的精确性。

技术领域

本公开涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种标记坐标确定方法、标记坐标确定装置、计算机可读介质及电子设备。

背景技术

在集成电路制造生产中，需要利用晶片切割道上的图案作曝光对准，以及作为制程中的量测用处。为了快速找出这些图案在晶片切割道上的位置，设置量测时的程式，就必须先给出这些图案在框架布局中的坐标。

根据图案的设计需求，在画图软件中画出图案后放置在框架布局中。同一个产品，会放在不只一个位置，不同产品框架布局不同，放置的位置也不同。需要通过制图工具对不同位置的图案进行多次量测，确定坐标。然后，将抓取的坐标，人工填写在坐标书中。这样操作耗费时间长，而且容易出错。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种标记坐标确定方法、标记坐标确定装置、计算机可读介质及电子设备，能够在一定程度上克服人工抓取坐标时容易出错的问题，进而提升标记的坐标的精确性。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开的第一方面，提供一种标记坐标确定方法，包括：

生成用于放置检测标记的标记单元；

将所述检测标记以及所述标记单元设置于光掩模版的图像中，获得所述图像的标记位置文件，其中，所述标记位置文件中包括所述标记单元在所述图像中的位置坐标；

根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标。

在本公开的一种示例性实施例中，所述生成用于放置检测标记的标记单元包括：

基于所述检测标记的中心位置生成所述标记单元，以使所述标记单元的中心位置与所述检测标记的中心位置相重合。

在本公开的一种示例性实施例中，所述检测标记为多个，每个所述检测标记对应一个所述标记单元。

在本公开的一种示例性实施例中，生成用于放置检测标记的标记单元之后，还包括：

确定所述标记单元的名称，以通过所述标记单元的名称生成所述标记位置文件。

在本公开的一种示例性实施例中，获得所述图像的标记位置文件包括：

通过制图工具输出所述光掩模版的图像中所述标记单元的位置坐标；

通过所述标记单元的名称构建所述标记单元与所述位置坐标的映射关系，以生成标记位置文件。

在本公开的一种示例性实施例中，所述根据所述标记位置文件获取待处理标记在所述图像中的位置坐标包括：

获取包含待处理标记的标记名称的坐标表文件，其中，所述标记名称为待处理标记对应的标记单元的名称；

通过识别所述坐标表文件中的标记名称以及所述标记位置文件中的标记单元的名称，确定所述标记名称对应的目标坐标；

将所述标记名称对应的目标坐标填充至所述坐标表文件中，以获得所述待处理标记在所述图像中的坐标。