[发明专利]一种太赫兹脉冲激光能量校准装置与方法

摘要

本发明公开了一种太赫兹脉冲激光能量校准装置与方法，属于脉冲激光技术领域。本发明所述方法包括如下步骤：设置函数发生器使CO2激光器输出重复频率和占空比均满足测量要求的脉冲激光、将两个标准红外探测器放入光路、根据数据采集与处理系统的测量值计算分束镜的分束比、移入太赫兹热释电探测器并记录太赫兹热释电探测器的噪声电压Vn、移出挡光片并记录太赫兹热释电探测器的测试电压Vs和标准红外探测器的测试能量值Js、计算太赫兹热释电探测器在波长为10.6μm时的响应度、测试太赫兹热释电探测器在波长为10.6μm时和工作波长范围的吸收特性、计算太赫兹热释电探测器在波长为λ时的响应度、计算入射太赫兹脉冲激光能量值。