[发明专利]一种半导体烘箱氮气调节装置在审
| 申请号： | 202010849862.7 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111947446A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 侯丽新;顾洪军;李士军;周婧 | 申请（专利权）人： | 吉林农业大学 |
| 主分类号： | F26B21/14 | 分类号： | F26B21/14;F26B21/00 |
| 代理公司： | 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙) 37245 | 代理人： | 陈良 |
| 地址： | 130118 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体烘箱技术领域，尤其是一种半导体烘箱氮气调节装置，针对没有对氮气进行加热的问题，现提出以下方案，包括底板，所述底板的顶部外壁设置有氮气瓶、加热箱和烘干箱，且加热箱的一侧外壁设置有电子气泵，电子气泵的输入端和加热箱的一侧内壁设置有同一个第三导辊，所述氮气瓶的输出端和加热箱的顶部内壁设置有同一个第一导管，且加热箱的内壁两侧均设置有加热器。本发明通过设置有加热器、电子气泵、加热箱、喷气盘、喷头、第五导管、第四导管、第一电磁阀和第二电磁阀，在对半导体进行烘干时，打开加热器和电子气泵，将加热后的氮气导入到烘干箱中，既可以起到对半导体进行烘干的作用又可以防止半导体被氧化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 烘箱 氮气 调节 装置 | ||
【主权项】：
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