[发明专利]一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用在审

专利信息
申请号: 202010809302.9 申请日: 2020-08-12
公开(公告)号: CN112067190A 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 黄永安;郭传飞;熊文楠;白宁宁 申请(专利权)人: 华中科技大学;南方科技大学
主分类号: G01L9/12 分类号: G01L9/12
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 孔娜;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于压力传感器相关技术领域,其公开了一种风压测量柔性智能蒙皮及其制造方法与应用,柔性智能蒙皮包括自下而上设置的柔性衬底、底电极、离子薄膜、空腔层薄膜、顶电极及感压薄膜,底电极设置在柔性衬底上;空腔层薄膜开设有相连通的多个通孔及微流道,通孔相背的两端被覆盖而形成封闭的空腔;离子薄膜上形成有多个微凸起,对应的微凸起收容于空腔内;柔性智能蒙皮包括多个间隔设置的传感单元;通过预先调节空腔内部的参考压力,使得传感单元处于双电层离子电容的工作状态。本发明具有超高分辨率及超宽可定制量程,且对正负压都具有超高的分辨率和超宽的量程,并且正负压的测量范围可以实时调节。
搜索关键词: 一种 风压 测量 柔性 智能 蒙皮 及其 制造 方法 应用
【主权项】:
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