[发明专利]光楔补偿器标定系统及其标定方法在审
| 申请号： | 202010800856.2 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111929037A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王孝坤;蔡志华;薛栋林;张学军;程强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/24;G01B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光楔补偿器标定系统及其标定方法，其中的标定方法包括如下步骤：S1、根据被检镜的参数设计光楔补偿器和反射式CGH；S2、将反射式CGH放置在被检镜的位置，以及将球面标准镜放置在干涉仪与反射式CGH之间；其中，干涉仪发出的光束经过球面标准镜汇聚后入射到光楔补偿器，经光楔补偿器发散后到达反射式CGH，再经反射式CGH反射回干涉仪，标定出光楔补偿器的位置和系统误差。本发明通过设计反射式CGH获得一个理想的非球面代替被检镜，使经过光楔补偿器的发散光经反射式CGH4后能够原路返回，以实现零位检测，从而实现对光楔补偿器位置的精确标定，解决了光线经过光楔补偿器后发散，难以标定光楔补偿器位置的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 标定 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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