[发明专利]太阳能电池及其制作方法

摘要

本申请提供一种太阳能电池及其制作方法，涉及太阳能电池的制备技术领域。该太阳能电池的制作方法，包括以下步骤：在具有第一极性的半导体衬底的第一表面形成电介质层；将带有图案的阴罩设置于电介质层的表面，在所述电介质层的表面沉积多晶硅层并在沉积时使用具有第二极性的掺杂元素进行原位掺杂，以形成对应所述阴罩图案的多晶硅层；去除所述阴罩，在半导体衬底的第一表面和/或第二表面形成钝化层；在半导体衬底的第一表面制作第一电极和第二电极，其中所述第一电极穿过所述钝化层与所述半导体衬底形成接触，所述第二电极穿过钝化层与多晶硅层形成欧姆接触。本发明能够简化太阳能电池的制作工艺，提高效率，降低生产成本。