[发明专利]蒸镀设备及其补料方法在审
| 申请号： | 202010777835.3 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112011763A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 张磊 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 汪阮磊 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀设备及其补料方法。所述蒸镀设备包括操作室、坩埚、熔融装置、质量监控装置以及补料控制装置。所述蒸镀设备通过质量监控装置和补料控制装置实现了坩埚内剩余蒸镀材料的质量监测以及自动进行补料程序。并且通过熔融装置预先熔融补充的蒸镀材料，防止补充的蒸镀材料对坩埚内的温度产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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