[发明专利]蒸镀设备及其补料方法

权利要求书

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

操作室，其为真空腔室；

坩埚，设于所述操作室内，其用于加热气化蒸镀材料；

熔融装置，与所述坩埚连通；

阀门，设于所述熔融装置与所述坩埚之间；

质量监控装置，设置在所述坩埚上，用以监控所述坩埚内的蒸镀材料的质量数据并判断是否补料；

补料控制装置，与所述质量监控系统电连接，所述补料控制装置用以获取和处理所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息控制所述熔融装置向所述坩埚中补充所需量的熔融状态的蒸镀材料。

2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述质量监控装置包括：

电位感应器，设于所述坩埚的底端，所述电位感应器用以根据所述坩埚的质量变化生成对应的电参数；

第一数据处理单元，用以将所述电参数转换为蒸镀材料的质量数据，并根据质量数据判断当前质量是否低于预设临界值，若是，则生成补料信息并发送至补料控制装置。

3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述补料控制装置包括：

质量监测器，设置在所述阀门处，所述质量检测器用于监控所述阀门通过的补料的质量，生成输送数据；

阀门控制器，与所述阀门连接，用于控制所述阀门的开启和关闭；

第二数据处理单元，用于获取所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息计算出需求量，并向所述阀门控制器发送开启信号，打开所述阀门进行补料；

补料时，所述第二数据处理单元获取所述输送数据，并根据所述输送数据判断是否达到需求量，若是，则发送关闭信号至所述阀门控制器，关闭所述阀门停止补料。

4.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述熔融装置包括：

加热炉，其具有至少一加热腔室；

进料口，设于所述加热炉上；

出料口，设于所述加热炉上并与所述阀门连接。

5.如权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热炉包括：

一炉体，包围形成所述加热腔室；

一加热层，包围所述炉体；

一保温层，包围所述加热层。

6.如权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述补料控制装置中还包括：

温度控制器，与所述加热层连接，所述温度控制器用于控制所述加热炉的温度。

7.如权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，所述进料口和所述出料口对应设于所述加热炉的两侧；从所述进料口到所述出料口，所述加热炉依次设有多个加热腔室；从所述进料口到所述出料口，所述加热腔室的温度依次递增。

8.一种蒸镀设备的补料方法，其特征在于，包括：

操作室为真空状态，坩埚在所述操作室中进行蒸镀作业；

熔融装置熔融蒸镀材料；

所述质量监控装置监控所述坩埚内的蒸镀材料的质量数据并判断是否补料，若是，发送补料信息至补料控制装置；

所述补料控制装置根据所述补料信息控制阀门的开启和关闭；

当所述阀门打开，输送所述熔融装置内的蒸镀材料至所述坩埚内；

当所述阀门关闭，停止输送所述熔融装内的置蒸镀材料至所述坩埚内。

9.如权利要求8所述的蒸镀设备的补料方法，其特征在于，所述质量监控装置监控所述坩埚内蒸镀材料步骤中包括：

电位感应器感应所述坩埚中蒸镀材料的质量变化，并生成对应电参数；

第一数据处理单元内设定一预设临界值；

所述第一数据处理单元获取所述电参数并转换为蒸镀材料的质量数据，将所述质量数据与所述预设临界值进行比较；

若所述质量数据低于所述预设临界值，则生成补料信息并发送至补料控制装置。

10.如权利要求8所述的蒸镀设备的补料方法，其特征在于，所述补料控制装置根据所述补料信息控制所述阀门的开启和关闭步骤中包括：

第二数据处理单元获取所述补料信息，发送开启信号至所述阀门控制器，所述阀门控制器打开阀门进行补料；

所述第二数据处理单元根据所述补料信息计算得出需求量；

质量监测器监控所述阀门处通过的蒸镀材料质量，生成输送数据；

所述第二数据处理单元获取所述输送数据，并将所述输送数据与所述需求量进行比较；

当所述输送数据等于所述需求量时，所述第二数据处理单元发出关闭信号至所述阀门控制器，所述阀门控制器关闭所述阀门，停止补料。