[发明专利]蒸镀设备及其补料方法

说明书

本发明提供了一种蒸镀设备及其补料方法。所述蒸镀设备包括操作室、坩埚、熔融装置、质量监控装置以及补料控制装置。所述蒸镀设备通过质量监控装置和补料控制装置实现了坩埚内剩余蒸镀材料的质量监测以及自动进行补料程序。并且通过熔融装置预先熔融补充的蒸镀材料，防止补充的蒸镀材料对坩埚内的温度产生影响。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是一种蒸镀设备及其补料方法。

背景技术

在OLED器件制作过程中，需要用到蒸镀制程，通过坩埚将金属材料熔融并形成蒸汽，将金属蒸汽通过掩膜版沉积在基板上，制成薄膜结构。在蒸镀过程中，需要不断将金属原材料投入坩埚中，以产生稳定的金属蒸汽，而蒸镀制程一般都在真空环境中进行，传统的补料方法为固定间隔时间进行补料。

一般蒸镀腔体内含多个金属材料及坩埚，多种材料一起蒸镀，金属材料加料是一次加完料待材料蒸发完后开腔加料，由于蒸镀金属材料时，温度大于1000℃，当一种材料蒸镀完后，需降温开腔加材料，金属腔体降温慢，更换坩埚重新加材料以及生产周期较长，影响产能。有了解到在蒸镀金属材料(如Al)时，采用单独的喂料机构完成自动补料，但是对坩埚喂料时候难以保证坩埚材料受热变化量及蒸镀速率稳定，需要在补料以后手动调节功率匹配并需要长时间稳定。

发明内容

本发明的目的是提供一种蒸镀设备及其补料方法，以解决现有技术中蒸镀设备需要人工进行补料，以及坩埚喂料时候难以保证坩埚材料受热变化量及蒸镀速率稳定，需要在补料以后手动调节功率匹配并需要长时间稳定等问题。

为实现上述目的，本发明提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括操作室、坩埚、熔融装置、质量监控装置以及补料控制装置。所述操作室为真空腔室。所述坩埚设于所述操作室内，其用于加热气化蒸镀材料。所述熔融装置与所述坩埚连通。在熔融装置与所述坩埚之间具有一阀门。所述质量监控装置设置在所述坩埚上，所述质量监控装置用以监控所述坩埚内的蒸镀材料的质量数据并判断是否补料。所述补料控制装置与所述质量监控系统电连接，所述补料控制装置用以获取和处理所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息控制所述熔融装置向所述坩埚中补充所需量的熔融状态的蒸镀材料。

进一步地，所述质量监控装置包括电位感应器以及第一数据处理单元。所述电位感应器设于所述坩埚的底端，所述电位感应器用以根据所述坩埚的质量变化生成对应的电参数。所述第一数据处理单元用以将所述电参数转换为蒸镀材料的质量数据，并根据质量数据判断当前质量是否低于预设临界值，若是，则生成补料信息并发送至补料控制装置。

进一步地，所述补料控制装置包括质量监测器、阀门控制器以及第二数据处理单元。所述质量监测器设置在所述阀门处，所述质量检测器用于监控所述阀门通过的补料的质量，生成输送数据。所述阀门控制器与所述阀门连接，所述阀门控制器用于控制所述阀门的开启和关闭。所述第二数据处理单元用于获取所述质量监控装置发送的补料信息，并根据所述补料信息计算出需求量，并向所述阀门控制器发送开启信号，打开所述阀门进行补料。

补料时，所述第二数据处理单元获取所述输送数据，并根据所述输送数据判断是否达到需求量，若是，则发送关闭信号至所述阀门控制器，关闭所述阀门停止补料。

进一步地，所述熔融装置包括一加热炉、一进料口以及一出料口。所述加热炉具有至少一加热腔室。所述进料口设于所述加热炉上。所述出料口设于所述加热炉上并与所述阀门连接。

进一步地，所述加热炉包括一炉体、一加热层以及一保温层。所述炉体包围形成所述加热腔室。所述加热层包围所述炉体。所述保温层包围所述加热层。

进一步地，所述补料控制装置中还包括温度控制器，所述温度控制器与所述加热层连接，所述温度控制器用于控制所述加热炉的温度。

所述进料口和所述出料口对应设于所述加热炉的两侧。从所述进料口到所述出料口，所述加热炉依次设有多个加热腔室。从所述进料口到所述出料口，所述加热腔室的温度依次递增。