[发明专利]紫外线固化设备有效
| 申请号： | 202010771564.0 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111897149B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 赵兴;孙增强 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种紫外线固化设备，包括工作台、升降驱动装置，该升降驱动装置用于驱动工作台升降，该升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，多个升降模块相对于工作台分散设置，各升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元，升降驱动单元用于驱动工作台升降；高度检测单元邻近升降驱动单元设置，用于实时检测工作台的高度值；控制模块用于计算任意两个升降模块中的高度检测单元检测到的高度值的差值，并判断该差值是否大于预设最大差值，若是，则调节相应升降模块中的升降驱动单元的升降速度，以使差值小于等于预设最大差值。本发明实施例提供的紫外线固化设备，可以保证工作台的平面度满足要求，提高升降速度和重复定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外线 固化 设备 | ||
【主权项】：
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