[发明专利]紫外线固化设备有效
申请号: | 202010771564.0 | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN111897149B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 赵兴;孙增强 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 101312 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 紫外线 固化 设备 | ||
1.一种紫外线固化设备,包括工作台和升降驱动装置,所述工作台用于承载待加工件,所述升降驱动装置用于驱动所述工作台升降,其特征在于,所述升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块,其中,
多个所述升降模块相对于所述工作台分散设置,各所述升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元,其中,所述升降驱动单元用于驱动所述工作台升降;所述高度检测单元邻近所述升降驱动单元设置,用于实时检测所述工作台的高度值,并将其发送至所述控制模块;
所述控制模块用于计算任意两个所述升降模块中的所述高度检测单元检测到的所述高度值的差值,并判断该差值是否大于预设最大差值,若是,则调节相应升降模块中的升降驱动单元的升降速度,以使所述差值小于等于所述预设最大差值;
各个所述升降模块还包括辅助支撑单元,所述辅助支撑单元用于向所述工作台施加恒定支撑力;
所述辅助支撑单元包括气缸,所述气缸具有竖直设置的活塞件,所述活塞件的上端用于支撑所述工作台;所述气缸中的气体压力被设置为使所述活塞件能够向所述工作台施加所述恒定支撑力;
所述气缸的所述活塞件能够随所述工作台的上升而同步伸出,并始终保持对工作台施加上述恒定支撑力;
当所述工作台处于在静止状态时,气源向所述气缸中输入气体,直至所述气缸中的气体压力稳定在压力设定值;
当所述工作台处于在上升状态时,所述气源持续供气,所述气缸中的气体压力仍然稳定在所述压力设定值。
2.根据权利要求1所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述辅助支撑单元还包括浮动连接件,所述浮动连接件与所述活塞件的上端浮动连接,所述活塞件通过所述浮动连接件支撑所述工作台。
3.根据权利要求2所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述浮动连接件包括万向轴头。
4.根据权利要求1所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述升降驱动装置还包括固定基座,所述工作台相对于所述固定基座升降;
所述高度检测单元包括光栅尺传感器,所述光栅尺传感器的标尺光栅设置在所述工作台上;所述光栅尺传感器的光栅读数头设置在所述固定基座上。
5.根据权利要求1所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述升降驱动单元包括升降马达机构,所述升降马达机构用于向所述工作台施加竖直方向上的直线驱动力。
6.根据权利要求1所述的紫外线固化设备,其特征在于,各所述升降模块均还包括导向单元,所述导向单元邻近所述升降驱动单元设置,用于限定所述工作台沿竖直方向移动。
7.根据权利要求6所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述升降驱动装置还包括固定基座,所述工作台相对于所述固定基座升降;
所述导向单元包括直线导轨和能够沿所述直线导轨滑动的滑动件,其中,所述直线导轨竖直设置,且与所述工作台连接;所述滑动件与所述固定基座连接;或者,所述直线导轨竖直设置,且与所述固定基座连接;所述滑动件与所述工作台连接。
8.根据权利要求1所述的紫外线固化设备,其特征在于,
所述控制模块还用于判断所述差值是否大于预设的停机偏差数值,若是,则控制所述升降驱动单元停止驱动,其中,所述停机偏差数值大于所述预设最大差值。
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