[发明专利]紫外线固化设备

说明书

本发明实施例提供一种紫外线固化设备，包括工作台、升降驱动装置，该升降驱动装置用于驱动工作台升降，该升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，多个升降模块相对于工作台分散设置，各升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元，升降驱动单元用于驱动工作台升降；高度检测单元邻近升降驱动单元设置，用于实时检测工作台的高度值；控制模块用于计算任意两个升降模块中的高度检测单元检测到的高度值的差值，并判断该差值是否大于预设最大差值，若是，则调节相应升降模块中的升降驱动单元的升降速度，以使差值小于等于预设最大差值。本发明实施例提供的紫外线固化设备，可以保证工作台的平面度满足要求，提高升降速度和重复定位精度。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体地，涉及一种紫外线固化设备。

背景技术

液晶屏的生产流程中，紫外光固化是较为关键的工序之一。在进行此工序的过程中，通常使用机械手将液晶屏运送至固化设备中，并放置于工作台上，工作台通常利用升降驱动装置驱动工作台作升降运动，以使其能够承载液晶屏升降，将液晶屏调整至指定的高度位置处。由于液晶屏尺寸较大、平面度要求较高，且工作台升降速度较快，故而对升降驱动装置的高速平稳升降及重复定位精度要求较高。

但是，目前所使用的升降驱动装置具有反应速度慢，且重复定位精度差。

发明内容

本发明实施例旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种紫外线固化设备，其不仅可以保证工作台的平面度满足要求，而且还可以提高升降速度和重复定位精度。

为实现上述目的，本发明实施例提供了一种紫外线固化设备，包括工作台和升降驱动装置，所述工作台用于承载待加工件，所述升降驱动装置用于驱动所述工作台升降，所述升降驱动装置包括控制模块和多个升降模块，其中，

多个所述升降模块相对于所述工作台分散设置，各所述升降模块均包括升降驱动单元和高度检测单元，其中，所述升降驱动单元用于驱动所述工作台升降；所述高度检测单元邻近所述升降驱动单元设置，用于实时检测所述工作台的高度值，并将其发送至所述控制模块；

所述控制模块用于计算任意两个所述升降模块中的所述高度检测单元检测到的所述高度值的差值，并判断该差值是否大于预设最大差值，若是，则调节相应升降模块中的升降驱动单元的升降速度，以使所述差值小于等于所述预设最大差值。

可选的，各个所述升降模块还包括辅助支撑单元，所述辅助支撑单元用于向所述工作台施加恒定支撑力。

可选的，所述辅助支撑单元包括气缸，所述气缸具有竖直设置的活塞件，所述活塞件的上端用于支撑所述工作台；所述气缸中的气体压力被设置为使所述活塞件能够向所述工作台施加所述恒定支撑力。

可选的，所述辅助支撑单元还包括浮动连接件，所述浮动连接件与所述活塞件的上端浮动连接，所述活塞件通过所述浮动连接件支撑所述工作台。

可选的，所述浮动连接件包括万向轴头。

可选的，所述升降驱动装置还包括固定基座，所述工作台相对于所述固定基座升降；

所述高度检测单元包括光栅尺传感器，所述光栅尺传感器的标尺光栅设置在所述工作台上；所述光栅尺传感器的光栅读数头设置在所述固定基座上。

可选的，所述升降驱动单元包括升降马达机构，所述升降马达机构用于向所述工作台施加竖直方向上的直线驱动力。

可选的，各所述升降模块均还包括导向单元，所述导向单元邻近所述升降驱动单元设置，用于限定所述工作台沿竖直方向移动。

可选的，所述升降驱动装置还包括固定基座，所述工作台相对于所述固定基座升降；