[发明专利]一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针及制备方法有效
| 申请号： | 202010748932.X | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111863777B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张佰君;沈俊宇 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01L23/552 | 分类号： | H01L23/552;H01L33/38 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 李思坪 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针及制备方法，微探针包括发光二极管结构、记录电极和电磁屏蔽结构，所述发光二极管结构由下至上包括蓝宝石衬底、p型氮化镓、有源层、n型氮化镓、透明导电层、绝缘隔离层、绝缘钝化层，所述绝缘隔离层上设有发光二极管阳极结构和发光二极管阴极结构，所述电磁屏蔽结构由电磁屏蔽层结构和地线半包围结构构成。通过使用本发明，能够抑制电磁辐射给光电极带来的干扰，从而获得更高质量的生物信号。本发明作为一种低噪声单面集成可注入生物光电极微探针及制备方法，可广泛应用于生命科学半导体芯片领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 单面 集成 注入 生物 光电 极微 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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