[发明专利]一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法在审
| 申请号： | 202010743183.1 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112073017A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王红亮;王璐瑶;张汉强;何常德;赵利辉;洪应平;孙晓磊 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10;H03H9/25;H03H9/64;H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 任林芳 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于滤波领域的换能装置，具体是一种具有温度补偿特性的高性能声表面波滤波器及制作方法。包括封装外壳，所述的封装外壳内部设有粘连芯片的基座，基座上侧固定有芯片，所述的芯片以压电基片为衬底，压电基片下侧设置有用于与基座固定的粘结层，压电基片上设置层状金属叉指换能器，层状金属叉指换能器上制备有温度补偿薄膜，所述的层状金属叉指换能器为若干个单端谐振器组成梯形结构的双端器件，所述的封装外壳的外部引脚通过金线和芯片上预留的信号引出部分形成电气连接，所述的芯片和封装壳体之间设置有用于密封的惰性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 温度 补偿 特性 性能 表面波 滤波器 制作方法 | ||
【主权项】：
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