[发明专利]金属氧化物阵列基板的制造方法、阵列基板及显示面板

摘要

本发明提供了一种金属氧化物阵列基板的制造方法、阵列基板及显示面板。本发明提供的金属氧化物阵列基板的制造方法依次在衬底基板上沉积栅金属层和缓冲层，在缓冲层上形成半导体图形，在半导体图形上形成薄膜晶体管的源极和漏极，最后在缓冲层上沉积保护层，并在保护层上与扫描线对应的位置设计限位槽，从而在显示面板受到压迫时，有效阻止了隔垫物的滑动，解决了因隔垫物滑动导致的漏光问题。