[发明专利]光罩缺陷检测方法及系统有效
| 申请号： | 202010717492.1 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113970557B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 侯力华;许文豪 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/958 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光罩缺陷检测方法及系统。其中光罩缺陷检测方法包括：提供光罩；提供光罩缺陷检测系统，在所述光罩上机或下机时，持续对所述光罩进行缺陷检测，获取各缺陷的缺陷信息；从各所述缺陷的缺陷信息中获取各所述缺陷的动态阈值；判断各所述缺陷的动态阈值是否属于所述检测系统不可接受的阈值，若是，进行告警处理。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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