[发明专利]研磨用固定环以及研磨头在审
| 申请号： | 202010695884.2 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111644977A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 康大沃;张月;杨涛;卢一泓;刘青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/34;B24B41/047 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨用固定环，包括：环形主体；所述环形主体至少在下表面和内表面之间具有第一过渡区域，所述第一过渡区域的内侧高度高于所述第一过渡区域的外侧高度，所述第一过渡区域的由所述表面向所述下表面平滑过渡。本发明提供的研磨用固定环能够避免抛光垫的形变对晶圆边缘的过度研磨。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 固定 以及 | ||
【主权项】：
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