[发明专利]柔性元件阵列基板以及柔性元件阵列基板的制作方法有效

专利信息
申请号: 202010664985.3 申请日: 2020-07-10
公开(公告)号: CN111883629B 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 柯聪盈;李志宗;康婷 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L21/683;H01L25/075;G09F9/30;G09F9/33
代理公司: 北京市立康律师事务所 11805 代理人: 梁挥;孟超
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种柔性元件阵列基板,包括:基板、含金属层以及电子元件层。含金属层设置于基板上。含金属层包括:第一层与第二层。第一层位于靠近该基板的一侧,第一层含有第一金属氧化物,以在第一层中形成剥离界面。第二层位于远离基板的一侧,第二层含有第二金属氧化物。第二金属氧化物中的金属的氧化价数,小于第一金属氧化物中的金属的氧化价数。电子元件层设置于含金属层的上方。还提出一种柔性元件阵列基板的制作方法。
搜索关键词: 柔性 元件 阵列 以及 制作方法
【主权项】:
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