[发明专利]一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统

摘要

本发明公开了一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其包括点激光器、棱镜、一维MEMS微镜、正弦信号调制器、驱动控制电路、同步控制电路、频率控制电路、高速摄像机以及计算机。频率控制电路与正弦信号调制器以及点激光器相连接，点激光器输出端对应方向依次设置棱镜与一维MEMS微镜，一维MEMS微镜与驱动控制电路相连接，高速摄像机与同步控制电路和计算机相连接。点激光器发射出的点激光在棱镜的光学作用下形成线型激光并将其投射到一维MEMS微镜镜面，一维MEMS微镜在驱动控制电路的作用下进行高速谐振，对投射的线型激光进行反射形成一定范围的扫描面，结合频率控制电路对点激光器的开与关可在扫描面形成明暗相间的条纹图案，最后由同步控制电路控制高速摄像机采集条纹图像并传至计算机进行数据处理。本发明能够解决现有技术中三维测量中条纹投射速度不足的问题，结构简单可靠、可调节性强、检测速度快。