[发明专利]一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统

权利要求书

1.一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其特征在于，频率控制电路与正弦信号调制器以及点激光器相连接，点激光器输出端对应方向依次设置棱镜与一维MEMS微镜相连接，一维MEMS微镜与驱动控制电路相连接，高速摄像机与同步控制电路以及计算机相连接。

2.根据权利要求书1所述的一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其特征在于，所述点激光器输出端与棱镜相对应，棱镜与一维MEMS微镜相对应，其中一维MEMS微镜成倾斜放置，高速摄像机与一维MEMS微镜相对应，并且两者应位于同一水平面。

3.根据权利要求书2所述的一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其特征在于，所述线型激光可通过点激光器投射的激光光束在棱镜的光学作用下形成或利用完整的线激光器直接生成。

4.根据权利要求书1所述的一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其特征在于，所述驱动控制电路驱动一维MEMS微镜进行谐振，其驱动频率应为其谐振频率的两倍。

5.根据权利要求书1所述的一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其特征在于，所述正弦信号调制器对点激光发射的激光进行正弦调制。

6.根据权利要求书1所述的一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其特征在于，所述同步控制电路对高速摄像机，一维MEMS微镜以及点激光器进行时序上的同步控制，以达到条纹图案的实时采集。

7.根据权利要求书1所述的一种基于MEMS微镜的快速条纹投射与采集系统，其特征在于，所述频率控制电路负责控制点激光器的打开与关闭，在一维MEMS微镜的高速振动与反射下，将条纹图案投射于待测物体上。在同步控制电路的控制下，进行高速摄像机的触发，同时结合一维MMES微镜进行条纹图案的采集。

8.根据权利要求书1所述的一种基于MEMS微镜的快速条纹投射系统，其特征在于，所述一维MEMS微镜镜面直径3mm，体积为10.3mm*21.3mm*2.3mm，其镜面中部有一旋转主轴，一维MEMS微镜围绕旋转主轴在静电力的作用下高速谐振。