[发明专利]用于半导体工艺设备的软件控制方法和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202010572197.1 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111782358A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 狄艳;褚瑞 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/48 | 分类号： | G06F9/48;G06F9/54;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 朱文杰 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种用于半导体工艺设备的软件控制方法和半导体工艺设备，该方法包括：根据用户的软件启动操作，检测上位机与下位机是否能进行通信；若上位机与下位机能进行通信，则控制下位机执行预定启动脚本，以启动下位机中的第一目标软件；在确定第一目标软件已启动后，确定预设的上位机中的至少一个第二目标软件，获取至少一个第二目标软件的地址，根据至少一个第二目标软件的地址启动至少一个第二目标软件。可见，通过本申请实施例，用户可以仅执行一次用户操作就能够启动上位机和下位机中的软件，解决了目前技术中用户逐一手动启动上位机中的每个软件和下位机中的每个软件，操作繁琐，且会造成启动延时的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 工艺设备 软件 控制 方法 | ||
【主权项】：
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