[发明专利]一种用于制备光子晶体的方法在审
申请号: | 202010555875.3 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN111705362A | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 许浩;郭云龙 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中科启辰新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B23/00 |
代理公司: | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人: | 朱芳 |
地址: | 010070 内蒙古自治区呼和*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明公开了一种光子晶体的制备方法,所述制备方法包括:在加热装置内从底部向上依次为锅底、带孔挡板、碳化硅籽晶以及散热器;对所述加热装置锅底内放置的碳化硅原料加热,使得所述碳化硅原料气化后经过所述带孔挡板后,在所述碳化硅籽晶的下表面形成液态碳化硅,不断循环,从而形成碳化硅光子晶体。本发明光子晶体的制备方法该对设备要求低,工艺步骤少,产生的废弃物少,工艺简单,制备的光子晶体表面无多晶和杂质,成品率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 光子 晶体 方法 | ||
【主权项】:
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