[发明专利]一种微小型超高温压电振动加速度传感器及其装配方法在审
| 申请号： | 202010547527.1 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111551760A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 于法鹏;刘学良;房浩然;杨勇;马庆宇;赵显 | 申请（专利权）人： | 山东大学;山东本源晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09;G01H11/08 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 孙倩文 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种微小型超高温压电振动加速度传感器及其装配方法，属于电子材料与器件领域，包括安装底座、装配基面、压电模块和外壳；压电模块包括多片压电晶片和两个质量块，压片晶片为剪切式RECOB晶片，RECOB晶片的化学式为RECa |
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| 搜索关键词： | 一种 微小 超高温 压电 振动 加速度 传感器 及其 装配 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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