[发明专利]一种微小型超高温压电振动加速度传感器及其装配方法

权利要求书

1.一种微小型超高温压电振动加速度传感器，其特征在于，包括安装底座、装配基面、压电模块和外壳；

所述装配基面为一矩形平面，且与安装底座为一体结构，所述安装底座上设置有安装孔，装配基面上设置有用于安装压电模块的中心孔；

所述压电模块包括多片压电晶片和两个质量块，压电模块对称安装于装配基面上，所述压电晶片为剪切式RECOB晶片，RECOB晶片的化学式为RECa₄O(BO₃)₃；

所述外壳为一端开口的矩形壳体，与安装底座固定连接形成传感器的密封内腔，压电模块位于该密封内腔中；

所述安装底座上还设置有通孔，通孔内安装有用于信号传输的双屏蔽高温铠装电缆，该双屏蔽高温铠装电缆的一端与其中一个质量块固定连接。

2.根据权利要求1所述的微小型超高温压电振动加速度传感器，其特征在于，所述压电模块还包括相互配合的螺栓和螺母，螺栓穿设于中心孔内，质量块包括质量块A和质量块B，螺栓上依次套设有质量块A、陶瓷管和质量块B，质量块A和质量块B焊接于螺栓上，陶瓷管与螺栓为螺纹配合，陶瓷管上套设有多片压电晶片，螺母紧压质量块B固定于螺栓上，为压电模块提供预紧力，其中，多片压电晶片对称分布于装配基面两侧，质量块A和质量块B也对称分布于装配基面两侧；

优选的，安装底座上在与外壳的连接处设置有一安装面，外壳的开口端与安装面固定连接，安装后，外壳表面与安装底座表面平齐。

3.根据权利要求2所述的微小型超高温压电振动加速度传感器，其特征在于，压电晶片的数量为2或6片，即装配基面两侧分别分布有1或3片压电晶片。

4.根据权利要求1所述的微小型超高温压电振动加速度传感器，其特征在于，所述安装孔的方向与装配基面平行或垂直，分别用于监测振动的垂直和水平振动信号。

5.根据权利要求1所述的微小型超高温压电振动加速度传感器，其特征在于，所述压电晶片为中间开孔的方片，相邻两压电晶片之间以负极相对、正极相对的方式并联在一起；

优选的，压电晶片的工粗糙度为0.1μm，平行度为0.02mm。

6.根据权利要求5所述的微小型超高温压电振动加速度传感器，其特征在于，当压电晶片数量为6片时，位于装配基面两侧的压电晶片之间分别设置有两路电极片，每一路电极片包括两侧的电极环和用于连接两侧电极环的连接线；

装配基面两侧的压电晶片均为：一路电极片的电极环插入压电晶片的负极之间，另一路电极片的电极环插入压电晶片的正极之间。

7.根据权利要求6所述的微小型超高温压电振动加速度传感器，其特征在于，对于装配基面一侧的压电晶片，一路电极片起始位置设置在最靠近质量块A的两片压电晶片之间并套设在陶瓷管内，尾端设置于装配基面和与其靠近的压电晶片之间套设在陶瓷管内，另一路电极片的起始位置设置在质量块A和与其靠近的压电晶片之间并套设在陶瓷管内，尾端设置于最靠近装配基面的两片压电晶片之间并套设在陶瓷管内；

对于装配基面另一侧的压电晶片，一路电极片起始位置设置在最靠近质量块B的两片压电晶片之间并套设在陶瓷管内，尾端设置于装配基面和与其靠近的压电晶片之间套设在陶瓷管内，另一路电极片的起始位置设置在质量块B和与其靠近的压电晶片之间并套设在陶瓷管内，尾端设置于最靠近装配基面的两片压电晶片之间并套设在陶瓷管内；

优选的，所述电极片的内径、外边长均保持与压电晶片相同的尺寸，在压电晶片厚度0.7mm时，连接线长度为3mm，宽为2mm；

所述电极片的材质为铂金金属片或镀铂金的镍金属片。