[发明专利]电容器结构及其制备方法有效
| 申请号： | 202010547452.7 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113809233B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 夏军 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H10N97/00 | 分类号： | H10N97/00;H10B12/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高翠花 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种电容器结构及其制备方法，采用本发明制备方法制备的电容器结构，其上电极与下电极具有较大的交叉面积，电容器结构的电容大大增加，且上电极及下电极的形状误差小，满足设计要求。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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