[发明专利]一种隧穿式MEMS气压传感器及其用途有效
| 申请号： | 202010529849.3 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111693201B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 宋学锋;刘絮;李成 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种隧穿式MEMS气压传感器及其用途。所述隧穿式MEMS气压传感器包括基底和依次设置于所述基底上的环状金属电极和石墨烯薄膜；所述石墨烯薄膜覆盖环状金属电极的中空腔体，且所述石墨烯薄膜的边缘设置在环状金属电极上。本发明首次将石墨烯材料运用到隧穿型气压传感器中，相比于普通金材料电极，石墨烯材料可以有效避免电迁移现象，提高气压传感器的寿命；同时由于隧穿电流在纳米级尺寸的电极尖端产生，气压传感器易于小型化，可以根据使用需求设计电极的尺寸与形状，设计原理相同的各种隧穿电流式气压传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧穿式 mems 气压 传感器 及其 用途 | ||
【主权项】：
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