[发明专利]多晶硅棒的制造方法在审
| 申请号： | 202010529313.1 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112093802A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 星野成大;石田昌彦;冈田哲郎 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
发明涉及的多晶硅棒的制造方法，采用西门子法来制造多晶硅棒，其特征在于，包括：沉积后通电工序，其在多晶硅的沉积工序结束后，以趋肤深度D比所述沉积工序结束时的趋肤深度D |
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| 搜索关键词： | 多晶 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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