[发明专利]一种水平可调节推舟系统及低压扩散炉在审
| 申请号： | 202010521139.6 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111621847A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 田杰成;徐有根 | 申请（专利权）人： | 湖南艾科威智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B31/06;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 长沙心智力知识产权代理事务所(普通合伙) 43233 | 代理人： | 谢如意 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市望城经济技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种水平可调节推舟系统及应用该系统的低压扩散炉，该系统包括座板、承载立板、驱动装置、传动机构、凸轮随动器、交叉滚子轴承和夹持装置；其中，承载立板的一端开设有横置的腰型孔，传动机构包括丝杠和连接块，丝杠连接驱动装置的输出轴，连接块与丝杠套接，凸轮随动器的侧部设置有一凸台，凸台与腰型孔适配，交叉滚子轴承的内圈与底板固定、外圈嵌入承载立板，夹持装置包括夹持固定板、第一夹持机构和第二夹持机构。本发明提供的推舟系统可调节桨的角度，使桨在石英管内取、放载满石英舟过程中，桨前后两端同时与石英舟底部接触、均匀受力，减小桨与石英管及石英舟刮擦的风险，结构简单、运行可靠，有利于降低生产维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水平 调节 系统 低压 扩散 | ||
【主权项】：
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