[发明专利]一种电子背散射衍射的分析方法有效
| 申请号： | 202010517623.1 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111678932B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 崔桂彬;鞠新华;杨瑞 | 申请（专利权）人： | 首钢集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20058 | 分类号： | G01N23/20058;G01N23/203;G01N23/2055;G01N23/2251;G01N33/204 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100041 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子背散射衍射的分析方法：根据预设工艺制备标定样品；根据预设工作参数，在扫描电镜下对标定样品进行电子背散射衍射EBSD分析，确定标定样品的目标晶界；采用第一扫描步长对目标晶界进行线扫描分析，获取在线扫描路径上的全部采样点的菊池花样的花样质量BC值；对所有的BC值进行单峰拟合，获得BC值的单峰拟合曲线；确定单峰拟合曲线的半高宽，将半高宽确定为扫描电镜在预设工作参数下的EBSD分析的空间分辨率；根据空间分辨率，确定对待分析样品进行EBSD分析时的目标分析参数。上述方法能够更加方便、快捷地分析出当前工作参数下EBSD的空间分辨率，基于此提高对待分析样品进行EBSD分析的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 散射 衍射 分析 方法 | ||
【主权项】：
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