[发明专利]一种MEMS触觉传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010501458.0 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111661815B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘桂芝;何云;王冬峰 | 申请（专利权）人： | 上海南麟集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/00;G01L1/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS触觉传感器及其制作方法，该MEMS触觉传感器包括衬底及位于衬底上的发光二极管、光电检测二极管及悬臂梁波导，其中，悬臂梁波导位于发光二极管和光电检测二极管中间，用于将发光二极管发出的光线耦合到光电检测二极管中进行检测，外加触觉力会改变悬臂梁波导的耦合比，通过光电检测二极管的输出电流可获得触觉力信息。本发明的MEMS触觉传感器采用新颖的力‑位移‑光‑电式检测原理，具有分辨率和灵敏度高、响应速度快和抗电磁干扰能力强的优势，由于多个部件位于同一衬底上，器件结构紧凑、体积小。另外，传感器还具有多功能集成化的潜力。本发明的触觉传感器可利用成熟的MEMS工艺线进行加工，对批量化生产和降低生产成本具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 触觉 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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