[发明专利]沉积设备和沉积方法

摘要

本发明涉及沉积设备和沉积方法。沉积设备包括：基板保持器，用于保持基板；输送机构，用于输送呈水平姿态的基板以将基板插入基板保持器中以及从基板保持器移除基板；旋转机构，用于改变基板的姿态；室，用于容纳旋转后的基板保持器以便将基板设置成竖直姿态并且实施沉积处理；和控制单元，配置成执行第一控制以使得在沉积处理之前将基板插入基板保持器中时使输送机构在第一位置处让基板保持器将基板保持；以及执行第二控制，以使得在沉积处理之后从基板保持器移除基板时使输送机构在比第一位置更靠后的第二位置处从基板保持器接收基板。