[发明专利]一种金字塔形阻变存储器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010439886.5 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111564556A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 黎明;李小康;张宝通;杨远程;黄如 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 李稚婷 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金字塔形阻变存储器及其制备方法，属于氧空位型阻变存储器领域。本发明通过采用将金字塔形尖端底电极的电场增强作用，加速氧空位在阻变介质中的迁移，控制导电细丝生长的位置和形状，与现有的平面型阻变存储器相比，该结构的阻变存储器件具有更低的功耗和更好的可靠性。另外通过将金字塔结构制备到CMOS的源漏通孔中可以实现与CMOS电路的良好集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金字塔 形阻变 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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