[发明专利]复合型功率元件及其制造方法

摘要

本发明公开一种复合型功率元件及其制造方法，功率元件包含基材结构、绝缘层、介电层、金氧半场效晶体管、及齐纳二极管。金氧半场效晶体管形成于基材结构的晶体管形成区域中。齐纳二极管形成于基材结构的电路元件形成区域中、且包含形成于绝缘层上且被介电层覆盖的齐纳二极管掺杂结构。稽纳二极管掺杂结构包含彼此相接的P型掺杂区及N型掺杂区。齐纳二极管另包含齐纳二极管金属结构，其形成于介电层上、且部分地贯穿介电层，以电性连接齐纳二极管掺杂结构的P型掺杂区及N型掺杂区。齐纳二极管经配置在复合型功率元件通电时接受逆向偏压。借此，复合型功率元件的制程复杂度能被简化，并且终端产品的体积也能被减少。