[发明专利]抗蚀剂底层组合物及使用此类组合物的图案形成方法在审
| 申请号： | 202010418531.8 | 申请日： | 2020-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN112015049A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 崔莉;山田晋太郎;L-S·科;P·J·拉博姆;S·M·科莱;J·F·卡梅伦;张可人;J·凯茨 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/09;C08F212/08;C08F212/14;C08F8/00;C08G8/28;C08G8/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱文宇;陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种抗蚀剂底层组合物，其包括：聚合物，所述聚合物具有聚合物主链和侧接到所述聚合物主链的取代或未取代的富勒烯基团；和溶剂，其量基于总的抗蚀剂底层组合物为50至99.9重量％。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 底层 组合 使用 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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