[发明专利]雾发生装置及成膜装置在审
| 申请号： | 202010409496.3 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111945134A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 永冈达司;西中浩之;吉本昌广;田原大祐 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;C23C16/40 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何冲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种能够供给具有稳定的浓度的雾的技术。本发明提供的雾发生装置，具备：贮存槽，其贮存溶液；超声波换能器，其向在贮存槽内贮存的溶液施加超声波振动，从而在贮存槽内产生溶液的雾；以及雾送出通道，其从贮存槽的内部向贮存槽的外部送出雾。在将贮存的溶液的深度设为d，将贮存的溶液的液面的面积设为S时，满足d≤S |
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| 搜索关键词： | 发生 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
